描述金属复合层中用到的材料(10分)
描述金属复合层中用到的材料(10分)
发布时间：2025-12-07 13:34:13
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答案：答:采用三明治金属结构,包括:(1)淀积Ti,使钨塞和下一层金属良好键合,层间介质良好键合;(2)Al,Au合金,加入铜抗电迁移;(3)TiN作为下一次光刻的抗反射层;
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