硅表面刻蚀工艺的刻蚀参数有哪些？
硅表面刻蚀工艺的刻蚀参数有哪些？
发布时间：2025-12-10 14:26:28
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答案：【计分规则】: 刻蚀速率，刻蚀剖面，刻蚀偏差，选择比，均匀性，残留物，聚合物，等离子体诱导损伤，颗粒污染和缺陷。
